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產(chǎn)品中心

Product Center

方阻測試儀

產(chǎn)品簡(jiǎn)介

Filmetrics R50 是KLA電阻測試家族的最新產(chǎn)品。R50方阻測試儀是KLA超45年電阻測量技術(shù)地位之作。電阻測量和監控對于任何使用導電薄膜的行業(yè)都至關(guān)重要,從半導體制造到可穿戴技術(shù)所需的柔性電子產(chǎn)品。R50在金屬膜均勻性分布、離子摻雜和注入表征、薄膜厚度和電阻率分布、以及非接觸膜厚等量測均進(jìn)行了優(yōu)化加強。

產(chǎn)品型號:R-50
更新時(shí)間:2024-06-17
廠(chǎng)商性質(zhì):代理商
訪(fǎng)問(wèn)量:2066

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產(chǎn)品分類(lèi)
tel-phone

021-64283335

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應用領(lǐng)域電子,航天,汽車(chē),電氣,綜合

KLA薄膜電阻測量技術(shù)方阻測試儀包括接觸(4PP)和非接觸(EC)方法。

Filmetrics的R50系列方塊電阻測量?jì)x器可測量沉積在各種基材上的導電片和薄膜,跨越10個(gè)數量級范圍電阻率,包括:

半導體晶圓基板

玻璃基板

塑料(柔性)基材

PCB圖案特征

太陽(yáng)能電池

平板顯示層和圖案化特征

金屬箔

二、方阻測試儀主要功能

l 技術(shù)規格

測量范圍:5m Ohm/sq - 5M Ohm/sq;

測量精度: +/- 1%;

重復度: 小于 0.2%;

樣品圖中無(wú)*的測量點(diǎn)位,自定義測量Recipe,可線(xiàn)性、矩形、

極坐標以及自定義等。

Model

Description

R50-4PP

四探針測試

自動(dòng)XY移動(dòng)臺-100mm*100mm

可實(shí)現直接100mm晶圓方塊電阻mapping測量

可放置直徑200mm晶圓樣品

R50-EC

非接觸渦流測試

自動(dòng)XY移動(dòng)臺-100mm*100mm

可實(shí)現直接100mm晶圓方塊電阻mapping非接觸測量

可放置直徑200mm晶圓樣品

R50-200-4PP

四探針測試

自動(dòng)XY移動(dòng)臺-200mm*200mm

可實(shí)現直接200mm晶圓方塊電阻mapping測量

R50-200-EC

非接觸渦流測試

自動(dòng)XY移動(dòng)臺-200mm*200mm

可實(shí)現直接200mm晶圓方塊電阻mapping非接觸測量

三、應用

支持廣泛的測量,包括但不限于以下各項:

金屬膜厚度、基板厚度、方塊電阻、電阻率、電導率、摻雜濃度等。



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