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日本Kosaka輪廓儀(臺階儀)

產(chǎn)品簡(jiǎn)介

日本Kosaka輪廓儀(臺階儀)ET4000是Kosaka公司推出的全自動(dòng)接觸式微細形狀測定儀,具有高精確性、穩定性和重復性,可測量FPD、晶片、磁盤(pán),和與納米材料相關(guān)物件的表面特性、臺階高度和粗糙度等。

產(chǎn)品型號:ET4000
更新時(shí)間:2024-06-17
廠(chǎng)商性質(zhì):代理商
訪(fǎng)問(wèn)量:2558

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產(chǎn)品分類(lèi)
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021-64283335

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日本Kosaka輪廓儀(臺階儀)

日本Kosaka株式會(huì )社于1950年成立,專(zhuān)業(yè)生產(chǎn)、開(kāi)發(fā)和銷(xiāo)售各種精密測試儀器、液壓設備、自動(dòng)機械和包裝機械等產(chǎn)品。公司于1950年推出其*個(gè)產(chǎn)品,SD-1表面粗糙分析儀。從此,在隨后的五十多年,產(chǎn)品不斷完善和更新,Kosaka公司的精密分析儀器始終是行業(yè)里的者。


ET4000臺階儀介紹:


     日本Kosaka輪廓儀(臺階儀)ET4000Kosaka公司推出的全自動(dòng)接觸式微細形狀測定儀,具有高精確性、穩定性和重復性,可測量FPD、晶片、磁盤(pán),和與納米材料相關(guān)物件的表面特性、臺階高度和粗糙度等。堅固的花崗巖材料鑄成的機身框架以及支撐部件顯著(zhù)提高了儀器的重復精度,并降低了地板噪音對測量的干擾。ET4000為滿(mǎn)足用戶(hù)不同應用方向的需要提供了多種可選配置,通過(guò)選配三維成像附件套裝還可以*地擴充儀器的功能。


日本Kosaka輪廓儀(臺階儀)主要參數:

zui大樣品尺寸

210x210mm;300x400mm

重復性

1σ0.5nm

測量范圍

Z100μm ;X100nm;Y150-400mm

分辨率

Z0.1nm;X0.01μm

觸針力

0.5μN-500μN


儀器特點(diǎn):

l 具有的臺階高度重復性5? (1σ)和線(xiàn)性度(垂直線(xiàn)性度:200nm以上為±0.25%;200nm以下為0.5nm)。

l 高分辨率,縱軸zui大分辨率為0.1nm,橫軸為0.01μm,可精確測量納米級至幾百微米級臺階高度。

l 超高直線(xiàn)度: 0.005μm/5mm,可測定微細表面形狀、段差、平面度、粗度、應力分析等。

l 低測定力:采用直動(dòng)力LVDT檢出器,觸針力在0.5μN500μN范圍可以任意調節,可測定軟質(zhì)材料。

特點(diǎn):? 

出色的臺階再現性與線(xiàn)性度。? 

超高真直度,可確保量測圖形不受任何影響,并可在保證真直度的前提下長(cháng)距離量測。? 

采用超低噪音直動(dòng)式 LVDT,超低測定力的觸針可任意調節。? 

配備高分辨率的 CCD 即時(shí)進(jìn)行高精度定位測量。? 

可對應各種國際規范,測定參數多達 60 多種。? 

適用于各種與納米材料有關(guān)的 MEMS、光電子、精加工表面、生物醫學(xué)器件、薄膜/化學(xué)涂層以及平板顯示等。


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