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當前位置:首頁(yè)產(chǎn)品中心臺階儀D-300 D500Alpha-Step臺階儀

Alpha-Step臺階儀

產(chǎn)品簡(jiǎn)介

Alpha-Step D-300/500 探針式輪廓儀支持臺階高度、粗糙度、翹曲度和應力的2D 測量。Alpha-Step臺階儀光學(xué)杠桿傳感器技術(shù)提供高分辨率測量,大垂直范圍和低觸力測量功能。
探針測量技術(shù)的優(yōu)點(diǎn)是它是直接測量,與材料特性無(wú)關(guān)??烧{節的觸力以及探針的選擇都使其可以對各種結構和材料進(jìn)行測量。通過(guò)測量粗糙度和應力,可對工藝進(jìn)行量化,確定添加或去除的材料量,以及結構的任何變化。

產(chǎn)品型號:D-300 D500
更新時(shí)間:2024-06-17
廠(chǎng)商性質(zhì):代理商
訪(fǎng)問(wèn)量:2323

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產(chǎn)地類(lèi)別進(jìn)口應用領(lǐng)域醫療衛生,化工,電子,航天,綜合

一. Alpha-Step臺階儀設備特點(diǎn)

  • 臺階高度:幾納米至1000μm(D500 至1200μm)

  • 低觸力:0.03至15mg

  • 視頻:500萬(wàn)像素率彩色攝像頭

  • 梯形失真校正:消除側視光學(xué)系統引起的失真

  • 圓弧校正:消除由于探針的弧形運動(dòng)引起的誤差

  • 緊湊尺寸:小占地面積的臺式探針式輪廓儀


   主要應用

  • 臺階高度:2D臺階高度

  • 紋理:2D粗糙度和波紋度

  • 形式:2D翹曲和形狀

  • 應力:2D薄膜應力

   應用領(lǐng)域


    大學(xué),研究實(shí)驗室和研究所

  • 半導體和復合半導體

  • SIMS:二次離子質(zhì)譜

  • LED:發(fā)光二極管

  • 太陽(yáng)能

  • MEMS:微電子機械系統

  • 汽車(chē)

  • 醫療設備

二. Alpha-Step臺階儀應用案例

臺階高度

  Alpha-Step D-300 探針式輪廓儀能夠測量從幾個(gè)納米到1000μm的2D臺階高度(D-500則是幾納米到1200微米)。 這使其可以量化在蝕刻、濺射、SIMS、沉積、旋涂、CMP 和其他工藝期間沉積或去除的材料。 Alpha-Step系列具有低觸力功能,可以測量如光刻膠的軟性材料。

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紋理:粗糙度和波紋度

  Alpha-Step D-300/500 測量 2D 紋理,量化樣品的粗糙度和波紋度。 軟件過(guò)濾功能將測量值分離為粗糙度和波紋度的部分,并計算諸如均方根(RMS)粗糙度之類(lèi)的參數。

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外形:翹曲和形狀

   Alpha-Step D-300/500可以測量表面的2D形狀或翹曲。 這包括對晶圓翹曲的測量,例如在半導體或化合物半導體器件生產(chǎn)過(guò)程中,多層沉積層結構中層間不匹配是導致這類(lèi)翹曲產(chǎn)生的原因。Alpha-Step還可以量化包括透鏡在內的結構高度和曲率半徑。

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應力:2D薄膜應力

  Alpha-Step D-300/500能夠測量在生產(chǎn)包含多個(gè)工藝層的半導體或化合物半導體器件期間所產(chǎn)生的應力。 使用應力卡盤(pán)將樣品支撐在中性位置精確測量樣品翹曲。 然后通過(guò)應用Stoney方程,利用諸如薄膜沉積工藝的形狀變化來(lái)計算應力。

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