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產(chǎn)品中心

Product Center

Imprint Nano納米壓印

產(chǎn)品簡(jiǎn)介

納米壓印的技術(shù)與工藝特點(diǎn),*性地設計和制備工作于低真空環(huán)境下,結合正負壓可控調節并利用壓縮空氣作為壓印驅動(dòng)力的,通過(guò)壓力傳導裝置、緩沖與勻壓、壓力調節控制裝置等手段實(shí)現平穩可靠可控的壓印過(guò)程,借助于多種靈活的自動(dòng)調節裝置的巧妙設計與運用,實(shí)現壓印中的自動(dòng)找平調控,以保證模板納米圖案均勻精確的大面積復制轉移。

產(chǎn)品型號:
更新時(shí)間:2024-06-17
廠(chǎng)商性質(zhì):代理商
訪(fǎng)問(wèn)量:1809

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產(chǎn)品分類(lèi)

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主要特點(diǎn):

該納米壓印機利用紫外曝光或者熱壓固化實(shí)現壓印圖案在壓印高分子膠層中的復制,并通過(guò)各項功能與過(guò)程參量的優(yōu)化與篩選,通過(guò)遠程PLC控制系統結合觸摸屏單元,實(shí)現納米壓印全過(guò)程的實(shí)時(shí)監控與全自動(dòng)化控制。

 

 

技術(shù)參數:

YPL-NIL-SI400納米壓印系統:

溫度范圍從室溫到250攝氏度;
壓力范圍從0到300個(gè)PSI(對于4英寸晶元);
紫外曝光系統;
真空范圍從1個(gè)標準大氣壓到0.1帕;
水冷系統;
樣品尺寸直徑zui大4英寸;
PLC遠程控制,帶觸摸屏;
手動(dòng)裝載樣品和模板;
自帶機器控制軟件;
在軟件控制下可實(shí)現自動(dòng)增加和釋放壓力;
可定制更大樣品尺寸或更大壓力系統的納米壓印機。

 

:admin@shnti.com

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